愛發(fā)科NRL60A/NRL90A/NRL180A真空泵維修

愛發(fā)科NRL60A/NRL90A/NRL180A真空泵維修

• 產(chǎn)品型號：臺
• 產(chǎn)品規(guī)格：NRL60A/NRL90A/NRL180A
• 產(chǎn)品品牌：ULVAC愛發(fā)科

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產(chǎn)品優(yōu)勢

特長 NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。 低噪音、低振動 優(yōu)良的耐腐蝕性 標準零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。 選購件 可選購消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮氣流量開關(guān)、泵溫傳感器。

產(chǎn)品詳情

愛發(fā)科NRL60A/NRL90A/NRL180A真空泵維修

特長

NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化。除PVD工藝外，尤其適用于希望提高流量，縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
低噪音、低振動
優(yōu)良的耐腐蝕性
標準零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內(nèi)部的腐蝕程度。
選購件
可選購消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮氣流量開關(guān)、泵溫傳感器。
用途
?? 活性氣體（CVD、刻蝕等）。
?? 排出非活性氣體（濺射鍍膜、? ?蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）。
?? 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單晶爐等）
?? 作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵）。
?? 冷凍干燥等水蒸氣排氣。

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